用于光伏產業的單晶硅、多晶硅涂層擴散爐。買高溫、耐腐蝕。
用于送載有硅片的硅舟或石英舟進入涂層擴散爐爐管內。
SIC懸臂槳長度從1500mm到3000mm。亦可根據用戶要求規格定制。